一級(jí)潔凈室

一級(jí)潔凈室（ISO 1級(jí)潔凈室）是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ISO 14644-1 中定義的最高級(jí)別潔凈環(huán)境，用于半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)、生物制藥等行業(yè)。

1. 潔凈度標(biāo)準(zhǔn)
- 顆粒限制（每立方米空氣中允許的最大顆粒數(shù)）：
   - ≥0.1 μm 的顆粒：≤ 10 個(gè)   
   - ≥0.2 μm的顆粒：≤ 2 個(gè)   
   （對(duì)比：普通室內(nèi)空氣每立方米含數(shù)百萬顆粒）
- 測(cè)試方法：使用激光粒子計(jì)數(shù)器在動(dòng)態(tài)（運(yùn)行）條件下監(jiān)測(cè)。
---
2. 核心應(yīng)用領(lǐng)域
- 半導(dǎo)體制造：納米級(jí)芯片光刻、晶圓生產(chǎn)。
- 精密光學(xué)：激光陀螺儀、航天鏡頭鍍膜。
- 生物制藥：基因治療、無菌制劑灌裝。
- 納米技術(shù)：碳納米管、量子點(diǎn)材料研發(fā)。
---
3. 設(shè)計(jì)與控制技術(shù)
- 空氣過濾系統(tǒng)：
   - ULPA過濾器（超高效空氣過濾器）：對(duì) 0.1-0.2 μm 顆粒過濾效率 ≥99.9995%。
   - 單向?qū)恿?*（Unidirectional airflow）：垂直/水平層流，風(fēng)速 0.3-0.5 m/s，確保顆?？焖倥懦?。
- 環(huán)境控制：
   - 溫濕度：精度 ±0.5°C，濕度 ±5% RH（如 22°C±0.5，45%±5%）。
   - 正壓梯度：潔凈室壓力高于相鄰區(qū)域 ≥15 Pa，防止外部污染滲入。
- 材料與結(jié)構(gòu)：
   - 墻面/地板：無縫隙不銹鋼或抗靜電涂層材料，避免積塵。
   - 設(shè)備選型：專用低振動(dòng)、低發(fā)塵的潔凈室設(shè)備。

---

4. 人員與物料管理